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中国光刻机研究领域的重要参与者——奥普光电

来源:乐鱼体育直播在线    发布时间:2024-03-29 04:54:53

产品介绍

  荷兰阿斯麦(ASML)公司是全球最大的光刻机制造商,也是全球唯一能够给大家提供极紫外(EUV)光刻机的厂商。在EUV光刻机领域,阿斯麦目前处于绝对垄断地位,市占率为100%,处于独家供货的状态。

  EUV光刻机是生产5纳米及更高制程芯片的关键设备,由于美国的出口管制,阿斯麦未能向中国出口其最先进的EUV光刻机,这对中国半导体产业的发展构成了一定的挑战。尽管如此,中国仍在积极发展本国的光刻机技术,以减少对外部供应商的依赖。

  奥普光电是中国光刻机领域的一个重要参与者,其控制股权的人为长春光学精密机械与物理研究所,其持有奥普光电42.40%的股份。公司在光刻机技术应用方面取得了一系列成就,特别是在深度光刻技术上具有非常明显特色。

  1、公司高均匀照明和亚微米高分辨力光刻技术:通过采用积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应、真空曝光和气浮曝光等技术,实现了高均匀照明和亚微米级别的高分辨力光刻。

  2、高准确度双面对准技术:使用底面对准技术,单曝光头可以在一定程度上完成高准确度的双面对准(2.5µm)曝光。

  3、大面积高能均匀曝光技术:结合积木错位蝇眼透镜和离轴非球面反射照明技术,实现了大面积(430mm×430mm)、高能(15mW/cm²)、均匀(8%)、冷光(30°C)、平行(1°)曝光。

  4、厚胶高准确度对准与套刻技术:采用双焦点对准技术,可以在一定程度上完成厚胶(600m, 侧壁陡度85°)的高准确度对准(0.6µm)与套刻。

  公司的URE-2000系列紫外深度光刻机因其技术先进、功能齐全、性能可靠、操作便捷,在深度光刻中具有特色,已经推广应用120余台(套),并且远销国外6台(套),开创了中国光刻机设备出口的先例。

  此外,公司控制股权的人旗下的长春光机所在极紫外(EUV)光刻关键技术探讨研究方面也取得了重要进展。2017年,长春光机所的“极紫外光刻关键技术探讨研究”项目通过了国家科技重大专项的验收,标志着中国在极紫外光刻研发技术上向前推进了重要一步。极紫外光刻技术是下一代光刻技术,对于推动集成电路制造技术的发展具备极其重大意义。

  公司的技术应用和发展,为其在光刻机领域的持续创新和发展提供了坚实的基础。随技术的慢慢的提升和市场的扩大,我国国产光刻机技术优势在全球光刻机市场中占据一席之地。

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