中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2022年度持续督导跟踪报告沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）于2019年12月16日首次公开发行股票并在科创板上市。

  公司聘请了国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”）担任公司首次公开发行股票并在科创板上市的保荐人，国信证券对公司的持续督导期原定至2022年12月31日止。

  2021年9月8日，公司因2021年度向特定对象发行A股股票聘请中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”）担任保荐机构。

  根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》和《科创板上市公司持续监管办法（试行）》等有关规定法律、法规和规范性文件的规定，中金公司承接公司首次公开发行股票的持续督导工作，并出具本持续督导跟踪报告。

  一、持续督导工作情况序号工作内容持续督导情况1 建立完整并有效执行持续督导工作制度，并针对具体的持续督导工作制定相应的工作规划保荐人已建立并有效执行了持续督导制度，并制定了相应的工作规划2 根据中国证监会相关规定，在持续督导工作开始前，与上市公司或相关当事人签署持续督导协议，明确双方在持续督导期间的权利义务，并报上海证券交易所备案保荐人已与公司签订《保荐协议》，该协议明确了双方在持续督导期间的权利和义务，并报上海证券交易所备案3 持续督导期间，按照有关法律法规对上市公司违反法律法规事项公开发表相关声明的，应于披露前向上海证券交易所报告，并经上海证券交易所审核后在指定媒体上公告2022年度，公司未发生按有关法律法规需保荐机构公开发表相关声明的违法违规情况4 持续督导期间，上市公司或相关当事人出现违法违规、违背承诺等事项的，应自发现或应当自发现之日起五个工作日内向上海证券交易所报告，报告内容有上市公司或相关当事人出现违法违规、违背承诺等事项的详细情况，保荐人采取的督导措施等2022年度，公司未发生出现重大违法违规、违背承诺等事项序号工作内容持续督导情况5 通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽职调查等方式开展持续督导工作保荐人通过日常沟通、定期或不定期回访、现场检查等方式，了解公司业务情况，对公司开展了持续督导工作6 督导上市公司及其董事、监事、高级管理人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交易所发布的业务规则及其他规范性文件，并切实履行其所做的各项承诺保荐人督导公司及其董事、监事、高级管理人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交易所发布的业务规则及其他规范性文件，切实履行其所作出的各项承诺7 督导上市公司成立健全并有效执行公司治理制度，包括但不限于股东大会、董事会、监事会议事规则以及董事、监事和高级管理人员的行为规范等保荐机构督促公司依照相关规定健全完善公司治理制度，并严格执行公司治理制度8 督导上市公司建立完整并有效执行内控制度，包括但不限于财务管理制度、会计核算制度和内部审计制度，以及募集资金使用、关联交易、对外担保、对外投资、衍生品交易、对子公司的控制等重大经营决策的程序与规则等保荐人对公司内控制度的设计、实施和有效性进行了核查，在本保荐机构持续督导期间，公司的内控制度符合相关法规要求并得到了有效执行，能够保证公司的规范运营9 督导上市公司成立健全并有效执行信息披露制度，审阅信息披露文件及其他相关文件，并有充分理由确信上市公司向上海证券交易所提交的文件不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏2022年度，保荐人督促公司严格执行信息披露制度，审阅了公司信息披露文件及其他相关文件，确信公司向上海证券交易所提交的文件不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏10 对上市公司的信息披露文件及向中国证监会、上海证券交易所提交的其他文件进行事前审阅，对存在问题的信息披露文件及时督促公司予以更正或补充，公司不予更正或补充的，应及时向上海证券交易所报告；对上市公司的信息披露文件未进行事前审阅的，应在上市公司履行信息披露义务后五个交易日内，完成对有关文件的审阅工作，对存在问题的信息披露文件应及时督促上市公司更正或补充，上市公司不予更正或补充的，应及时向上海证券交易所报告2022年度，保荐人对公司的信息披露文件进行了审阅，确认公司不存在由于信息公开披露文件存在问题但不予更正或补充而应向上海证券交易所报告的情况11 关注上市公司或其控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员受到中国证监会行政处罚、上海证券交易所纪律处分或者被上海证券交易所出具监管关注函的情况，并督促其完善内部控制制度，采取措施予以纠正2022年度，公司或其重要股东、董事、监事、高级管理人员不存在受到中国证监会行政处罚、上海证券交易所纪律处分或者被上海证券交易所出具监管关注函的情况12 持续关注上市公司及控股股东、实际控制人等履行承诺的情况，上市公司及控股股东、实际控制人等未履行承诺事项的，及时向上海证券交易所报告2022年度，公司或其重要股东不存在未履行承诺事项的情况序号工作内容持续督导情况13 关注公共传媒关于上市公司的报道，及时针对市场传闻进行核查。

  经核查后发现上市公司存在应披露未披露的重大事项或与披露的信息与事实不符的，及时督促上市公司如实披露或予以澄清；上市公司不予披露或澄清的，应及时向上海证券交易所报告2022年度，公司不存在负面舆论及前述其他应向上海证券交易所报告的情况14 发现以下情形之一的，督促上市公司做出说明并限期改正，同时向上海证券交易所报告：（一）涉嫌违反《上市规则》等相关业务规则；（二）证券服务机构及其签名人员出具的专业意见可能存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏等违法违规情形或其他不当情形；（三）公司出现《保荐办法》第七十条规定的情形；（四）公司不配合持续督导工作；（五）上海证券交易所或保荐人认为需要报告的其他情形2022年度，公司不存在前述情况15 制定对上市公司的现场检查工作计划，明确现场检查工作要求，确保现场检查工作质量。

  上市公司出现以下情形之一的，保荐人应当自知道或应当知道之日起十五日内或上海证券交易所要求的期限内，对上市公司进行专项现场核查；（一）存在重大财务造假嫌疑；（二）控股股东、实际控制人及其关联人涉嫌资金占用；（三）可能存在重大违规担保；（四）控股股东、实际控制人及其关联人、董事、监事或者高级管理人员涉嫌侵占上市公司利益；（五）资金往来或者现金流存在重大异常；（六）上海证券交易所或者保荐人认为应当进行现场核查的其他事项。

  2022年度，公司不存在需进行专项现场检查的情况二、保荐人和保荐代表人发现的问题及整改情况无。

  三、重大风险事项（一）经营风险1、下游客户扩厂不及预期或产能过剩的风险半导体设备行业受下游半导体市场及终端消费市场需求波动的影响较大，如果终端消费市场需求尤其是增量需求下滑或由于快速扩张导致的产能过剩，半导体制造厂商可能会削减资本性支出规模，将会对包括公司在内的半导体设备行业企业的经营业绩造成较大不利影响。

  2、研发投入可能大幅增长的风险随着公司对新产品、新技术研发的持续投入以及可能承担重大科研项目，未来公司研发投入可能会出现阶段性的大幅增长，不排除对公司的经营业绩造成一定冲击。

  3、供应商供货不稳定风险半导体设备属于高精密的自动化装备，研发和生产均需使用高精度元器件，对产品机械结构的精度和材质要求较高，而我国与此相关的产业配套环境依然不够成熟，部分核心关键零部件仍然有赖于进口。

  公司虽与上游供应商建立了长期稳定的合作关系，但不排除因少数国家持续滥用出口管制措施导致相关物料供应受阻，或未来下游半导体制造业对半导体设备需求出现爆发式增长从而对上游供应商的重要物料短期内造成挤兑，最终对公司产品生产造成一定的压力。

  4、新产品商业化推广不及预期的风险如果公司新产品商业化推广不及预期，也会对公司业绩产生较大不利影响。

  在上述各项影响因素综合作用下，不排除未来公司经营业绩出现大幅波动的风险。

  （二）行业风险1、市场竞争加剧的风险作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶显影设备成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在集成电路制造后道先进封装和LED芯片制造等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现国产替代，伴随着半导体产业市场竞争愈发激烈，如果未来有更多的半导体设备制造企业生产同类型设备，或采取恶意竞争的策略，则可能会导致公司未来客户流失、市场地位和经营业绩下滑，从而对公司持续经营能力产生不利影响。

  2、国际贸易摩擦加剧的风险随着国际贸易摩擦的加剧，不排除相关国家贸易政策变动影响公司上游供应商的供货稳定性。

  （三）宏观环境风险半导体设备行业受下游半导体市场及终端客户市场需求波动的影响较大，其发展呈现一定的周期性，如果未来宏观经济发展乏力，终端客户市场需求恢复不及预期，半导体制造厂商将会减少半导体设备的采购，行业将面临一定的波动风险。

  （四）其他重大风险1、税收优惠风险报告期内，公司享受的税收优惠政策包括软件产品增值税即征即退、研发费用加计扣除、高新技术企业所得税优惠等。

  如果国家有关税收优惠的法律、法规、政策等发生重大调整，或者由于公司未来不能持续取得国家高新技术企业资格等原因而无法享受相关税收优惠，将对公司的经营业绩造成不利影响。

  2、政府补助政策风险报告期内，公司计入其他收益的政府补助金额为4,859.38万元，占当期利润总额的比例为21.87%。

  如果未来政府部门对公司所处产业的政策支持力度有所减弱，公司取得的政府补助金额将会有所减少，进而对公司的经营业绩产生不利影响。

  四、重大违规事项2022年度，在本保荐机构持续督导期间，公司不存在重大违规事项。

  五、主要财务指标的变动原因及合理性2022年度，公司主要财务数据如下所示：单位：人民币元主要会计数据2022年2021年本期比上年同期增减（%） 2020年营业收入1,384,867,131.46828,672,512.2967.12328,900,200.07 归属于上市公司股东的净利润200,160,932.5377,349,494.43158.7748,828,560.81 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润137,247,261.6863,838,961.51114.9912,875,142.25 经营活动产生的现金流量净额192,963,939.50 -218,325,429.94不适用-72,389,945.01 主要会计数据2022年末2021年末本期末比上年同期末增减（%） 2020年末归属于上市公司股东的净资产2,106,541,950.00897,248,075.62134.78798,597,040.69 总资产3,496,333,727.061,960,914,071.6578.301,224,599,920.37 2022年度，公司主要财务指标如下所示：主要财务指标2022年2021年本期比上年同期增减（%） 2020年基本每股收益（元/股） 2.270.92146.740.58 稀释每股收益（元/股） 2.270.92146.740.58 扣除非经常性损益后的基本每股收益（元／股） 1.550.76103.950.15 加权平均净资产收益率（%） 13.369.20增加4.16个百分点6.31 扣除非经常性损益后的加权平均净资产收益率（%） 9.167.59增加1.57个百分点1.66 研发投入占营业收入的比例（%） 10.9911.16减少0.17个百分点13.81 上述主要财务数据和财务指标的变动原因如下：1、营业收入同比增长67.12%，主要原因是半导体行业景气度持续向好，同时公司产品竞争力不断增强，新签订单同比大幅增长，收入规模持续增长；2、归属于上市公司股东的净利润同比增长158.77%，归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润同比增长114.99%，主要原因是公司销售收入增长；3、经营活动产生的现金流量净额同比增长41,128.94万元，主要原因是公司新签合同额增长，同时公司进一步加强回款管理，销售回款增加；4、归属于上市公司股东的净资产同比增长134.78%，主要原因是公司向特定对象发行股票，股本及资本公积增加及公司净利润增长综合影响；5、总资产同比增长78.30%，主要原因是公司向特定对象发行股票，募集资金到账导致流动资产增加；6、基本每股收益、稀释每股收益同比增长146.74%，扣除非经常性损益后的基本每股收益同比增长103.95%，主要原因是归属于母公司所有者的净利润增长。

  六、核心竞争力的变化情况公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机和湿法刻蚀机），产品可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

  公司核心竞争力主要体现在：1、优秀的研发技术团队与核心管理团队；2、丰富的技术储备；3、优质的客户资源；4、较为突出的行业地位；5、高效的质量管控与服务保障能力；6、完善的供应链。

  公司始终秉承“为客户创造价值”的企业使命，坚持“客户第一、奋斗为本、诚信合作、专业精品”的企业精神，积极发挥自身在产品研发、采购制造、质量管理、市场销售以及客户服务等领域的经营优势，不断加大产品技术创新和品牌推广，深入推进精益化管理与内部风险控制，持续提升公司的品牌形象及核心竞争力，实现了公司主营业务的稳健发展。

  七、研发投入变化及研发进展（一）研发投入变化情况公司高度重视新技术、新产品和新工艺的研发工作。

  2022年，公司全年研发投入15,213.56万元，较2021年度研发投入增长64.47%；研发投入占营业收入的比例为10.99%，较2021年度研发投入占比减少0.17个百分点。

  （二）研发进展通过多年的技术积累以及承担国家02重大专项，公司已经成功掌握包括涂胶显影设备、单片式湿法设备等产品多项核心技术，并形成了完善的自主知识产权。

  2022年度，公司新增发明专利9项、实用新型专利12项、外观设计专利7项、软件著作权6项。

  截至2022年12月31日，公司共获得专利授权245项，其中发明专利171项（中国大陆地区发明专利153项，中国台湾地区发明专利16项，美国发明专利2项），实用新型专利45项，外观设计专利29项；拥有软件著作权60项。

  九、募集资金的使用情况及是否合规1、2019年首次公开发行股票募集资金2022年度，公司2019年首次公开发行股票募集资金使用情况为：（1）对募集资金项目投入49,789,523.28元，其中：高端晶圆处理设备产业化项目49,176,566.17元，高端晶圆处理设备研发中心项目612,957.11元；（2）归还闲置募集资金暂时补充流动资金60,000,000.00元；（3）募集资金专用账户利息收入扣除手续费净额为937,768.37元。

  具体明细如下：单位：人民币元项目金额募集资金净额505,744,103.78 减：截至2022年12月31日直接对募集资金项目投入387,316,021.56 其中：高端晶圆处理设备产业化项目248,133,621.56 高端晶圆处理设备研发中心项目139,182,400.00 减：截至2022年12月31日使用超募资金永久补充流动资金76,600,000.00 减：截至2022年12月31日使用闲置募集资金暂时补充流动资金190,000,000.00 减：截至2022年12月31日使用节余募集资金补充流动资金9,284,650.48 加：截至2022年12月31日募集资金理财收益59,284,650.48 加：截至2022年12月31日募集资金利息收入扣除手续费净额11,579,663.95 加：截至2022年12月31日归还暂时补充流动资金140,000,000.00 截至2022年12月31日的募集资金余额4,303,337.01 2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金2022年度，公司2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用情况为：对募集资金项目投入228,937,980.68元，其中：上海临港研发及产业化项目88,843,641.77元，补充流动资金140,094,338.91元。

  2022年度公司累计使用募集资金228,937,980.68元，支付银行手续费（不含增值税）2,969.92元，募集资金专用账户利息收入为2,247,786.66元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得投资收益9,877,238.54元，募集资金专用账户2022年12月31日余额合计为783,184,003.31元。

  具体明细如下：单位：人民币元项目金额募集资金总额999,999,928.71 减：截至2022年12月31日直接对募集资金项目投入228,937,980.68 其中：临港研发及产业化项目88,843,641.77 高端晶圆处理设备产业化项目（二期） - 补充流动资金项目140,094,338.91 加：截至2022年12月31日募集资金理财收益9,877,238.54 加：截至2022年12月31日募集资金利息收入扣除手续费净额2,244,816.74 截至2022年12月31日的募集资金余额783,184,003.31 公司2022年度募集资金存放和使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法规和文件的规定，对募集资金进行了专户存放和专项使用，不存在损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形。

  十、控制股权的人、实际控制人、董事、监事和高级管理人员的持股、质押、冻结及减持情况公司无控制股权的人、实际控制人。

  2022年，公司董事、监事和高级管理人员持有的公司股份变动情况如下：单位：股姓名职务年初持股数年末持股数年度内股份增减变动量增减变动原因宗润福董事长、总裁2,650,0002,165,455 -484,545 股权激励归属及股份减持郑广文董事000不适用胡琨元董事000不适用赵庆党董事000不适用孙华董事000不适用陈兴隆董事、副总裁80,00077,019 -2,981 股权激励归属及股份减持朱煜独立董事000不适用宋雷独立董事000不适用张宇独立董事000不适用张宏斌独立董事（离任） 000不适用梁倩倩监事000不适用史晓欣监事000不适用孙东丰职工代表监事23,50026,0002,500证券交易市场买卖李辰职工代表监事000不适用李风莉副总裁、董事会秘书1,400,0001,061,250 -338,750 股权激励归属及股份减持顾永田副总裁100,00093,234 -6,766 股权激励归属及股份减持汪明波副总裁30,00033,7503,750 股权激励归属及股份减持崔晓微副总裁127,600102,450 -25,150 股权激励归属及股份减持张新超首席财务官03,0003,000股权激励归属合计/ 4,411,1003,562,158 -848,942 / 截至2022年12月31日，公司董事、监事和高级管理人员持有的公司股份不存在质押或冻结情况。

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